云南化工2018，Vol.45Issue(5)：34-35,2.DOI:10.3969/j.issn.1004-275X.2018.05.017
多晶硅冷氢化系统中重金属杂质的影响及去除
李仕勇 1谭宗国 1赵生艳 1陈福1
作者信息
- 1. 云南冶金云芯硅材股份有限公司,云南 曲靖 655000
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摘要
关键词
冷氢化/多晶硅/重金属杂质/堵塞分类
化学化工引用本文复制引用
李仕勇,谭宗国,赵生艳,陈福..多晶硅冷氢化系统中重金属杂质的影响及去除[J].云南化工,2018,45(5):34-35,2.
