硅酸盐学报2018，Vol.46Issue(5)：633-637,5.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.2018.05.03
SiWN/SiWON双吸收层薄膜的光吸收性能
Optical Absorption Properties of SiWN/SiWON Absorbing Bilayer Films
摘要
关键词
硅钨氮化物/光学常数/磁控溅射/吸收率引用本文复制引用
张翼麟,王聪,孙莹,王蕾,宋平,代蓓蓓..SiWN/SiWON双吸收层薄膜的光吸收性能[J].硅酸盐学报,2018,46(5):633-637,5.基金项目
国家自然科学基金重点项目(51732001) （51732001）
国家自然科学基金面上项目(51572010) （51572010）
中央高校基本科研业务费. （）
