物理学报2018,Vol.67Issue(10):72-81,10.
高速850nm垂直腔面发射激光器的优化设计与外延生长
Optimized design and epitaxy growth of high speed 850
nm vertical-cavity surface-emitting lasers
周广正 1郎陆广 1程立文 2董国亮 3康联鸿 3王智勇 1尧舜 1于洪岩 1吕朝晨 1王青 1周天宝 3李颖 1兰天 1夏宇3
作者信息
- 1. 北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124
- 2. 扬州大学物理科学与技术学院, 扬州 225002
- 3. 华芯半导体科技有限公司, 泰州 225599
- 折叠
摘要
关键词
垂直腔面发射激光器/分布布拉格反射镜/量子阱/金属有机物化学气相淀积引用本文复制引用
周广正,郎陆广,程立文,董国亮,康联鸿,王智勇,尧舜,于洪岩,吕朝晨,王青,周天宝,李颖,兰天,夏宇..高速850nm垂直腔面发射激光器的优化设计与外延生长[J].物理学报,2018,67(10):72-81,10.