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纳米材料及HfO2基存储器件的原位电子显微学研究

李超姚湲杨阳沈希高滨霍宗亮康晋锋刘明禹日成

物理学报2018，Vol.67Issue(12)：128-143,16.

物理学报2018，Vol.67Issue(12)：128-143,16.DOI:10.7498/aps.67.20180731

纳米材料及HfO2基存储器件的原位电子显微学研究

In situ transmission electron microscopy studies on nanomaterials and HfO2-based storage nanodevices

李超 ¹姚湲 ²杨阳 ³沈希 ¹高滨 ¹霍宗亮 ¹康晋锋 ⁴刘明 ⁵禹日成⁶

作者信息

1. 中国科学院物理研究所, 北京凝聚态物理国家研究中心, 先进材料与结构分析实验室, 北京 100190
2. 中国科学院大学物理科学学院, 北京 100049
3. 天津理工大学材料科学与工程学院, 天津 300384
4. 北京大学信息科学技术学院, 北京 100871
5. 清华大学微电子与纳电子学系, 北京 100084
6. 中国科学院微电子研究所, 微电子器件与集成技术重点实验室, 北京 100029
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摘要

关键词

透射电子显微学/原位/纳米材料/微电子器件

引用本文复制引用

李超,姚湲,杨阳,沈希,高滨,霍宗亮,康晋锋,刘明,禹日成..纳米材料及HfO2基存储器件的原位电子显微学研究[J].物理学报,2018,67(12):128-143,16.

基金项目

国家重点研发计划(批准号:2016YFA0300701)、国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB932904,2012CB932302,2010CB934202)和国家自然科学基金(批准号:11374343,61421005,11574376,11174336,61334007,10974235,11274365)资助的课题. （批准号:2016YFA0300701）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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