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单晶Si电火花线切割工艺的多目标优化研究

路雄 李淑娟 辛彬 李志鹏

机械科学与技术2018,Vol.37Issue(8):1253-1259,7.
机械科学与技术2018,Vol.37Issue(8):1253-1259,7.DOI:10.13433/j.cnki.1003-8728.20180030

单晶Si电火花线切割工艺的多目标优化研究

Multi-objective Optimization for WEDM of Single-crystal Silicon

路雄 1李淑娟 1辛彬 1李志鹏1

作者信息

  • 1. 西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安710048
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摘要

关键词

单晶Si/响应曲面法/表面粗糙度/材料去除率/NSGA-Ⅱ算法

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

路雄,李淑娟,辛彬,李志鹏..单晶Si电火花线切割工艺的多目标优化研究[J].机械科学与技术,2018,37(8):1253-1259,7.

基金项目

国家自然科学基金项目(51575442)、陕西省教育厅重点实验室基金项目(2014SZS10-Z01)及陕西省自然科学基金重点项目(2016JZ0110)资助 (51575442)

机械科学与技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1003-8728

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