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铝合金镀银表面粗糙化处理方法及其SEY抑制机理

贺永宁 王丹 叶鸣 崔万照

表面技术2018,Vol.47Issue(5):1-8,8.
表面技术2018,Vol.47Issue(5):1-8,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.05.001

铝合金镀银表面粗糙化处理方法及其SEY抑制机理

Roughening Method and SEY Inhibition Mechanism of Aluminium Alloy Silver Plated Surface

贺永宁 1王丹 1叶鸣 1崔万照2

作者信息

  • 1. 西安交通大学 微电子学院,西安 710049
  • 2. 中国空间技术研究院西安分院 空间微波技术国防科技重点实验室,西安 710100
  • 折叠

摘要

关键词

铝合金镀银表面/微波部件/微放电效应/二次电子产额/表面粗糙化/化学腐蚀

分类

化学化工

引用本文复制引用

贺永宁,王丹,叶鸣,崔万照..铝合金镀银表面粗糙化处理方法及其SEY抑制机理[J].表面技术,2018,47(5):1-8,8.

基金项目

国家自然科学基金联合基金(U1537211) (U1537211)

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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