表面技术2018，Vol.47Issue(7)：152-159,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.07.021
钒氧化物薄膜的溅射法制备及电学性质研究
Preparation of Vanadium Oxides Thermochromic Thin Films in Sputtering Method and Electrical Properties
摘要
关键词
二氧化钒/直流磁控溅射/薄膜/X射线衍射/相变分类
数理科学引用本文复制引用
朱煜,刘思杨,朱子疏,祝巍..钒氧化物薄膜的溅射法制备及电学性质研究[J].表面技术,2018,47(7):152-159,8.基金项目
国家自然科学基金(51602302) （51602302）
国家基础科学人才培养基金(J1103207) （J1103207）
