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氮掺杂纳米金刚石膜的结构和电学性能

龚耀庭

表面技术2018,Vol.47Issue(7):179-184,6.
表面技术2018,Vol.47Issue(7):179-184,6.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.07.025

氮掺杂纳米金刚石膜的结构和电学性能

Structure and Electrical Properties of N-doped Nanocrytalline Diamond Films

龚耀庭1

作者信息

  • 1. 武汉工程大学邮电与信息工程学院,武汉 430073
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摘要

关键词

氮掺杂/纳米金刚石膜/晶粒尺寸/电学性能

分类

数理科学

引用本文复制引用

龚耀庭..氮掺杂纳米金刚石膜的结构和电学性能[J].表面技术,2018,47(7):179-184,6.

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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