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胶层热传递对挠性摆式微加速度计温度滞环的影响

李凯 罗怡 王晓东 孙屹博

传感技术学报2018，Vol.31Issue(7)：981-986,6.
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传感技术学报2018，Vol.31Issue(7)：981-986,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.07.001

胶层热传递对挠性摆式微加速度计温度滞环的影响

The Influence of Heat Transfer and Creep Effect on Bias Error of Hysteresis for Micro Accelerometer

李凯 1罗怡 1王晓东 2孙屹博1

作者信息

  • 1. 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁 大连116024
  • 2. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连116024
  • 折叠

摘要

关键词

微加速度计/胶粘接/有限元仿真/温度滞环

分类

机械制造

引用本文复制引用

李凯,罗怡,王晓东,孙屹博..胶层热传递对挠性摆式微加速度计温度滞环的影响[J].传感技术学报,2018,31(7):981-986,6.

基金项目

"高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项"高精度惯性器件微制造装备"课题项目( 2013ZX04001-091) （ 2013ZX04001-091）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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