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MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究

张加宏 陈剑翔 冒晓莉 李敏 王银

传感技术学报2018，Vol.31Issue(7)：998-1004,7.
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传感技术学报2018，Vol.31Issue(7)：998-1004,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.07.004

MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究

Design,Fabrication and Testing of MEMS Silicon-Aluminum Hybrid Structure Pressure Sensor

张加宏 1陈剑翔 2冒晓莉 3李敏 3王银2

作者信息

  • 1. 南京信息工程大学,江苏省大气环境与装备技术协同创新中心,南京210044
  • 2. 南京信息工程大学,江苏省气象探测与信息处理重点实验室,南京210044
  • 3. 南京信息工程大学,电子与信息工程学院,南京210044
  • 折叠

摘要

关键词

硅铝异质结构/灵敏度/有限元分析/温度补偿/非线性误差/遗传小波神经网络

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张加宏,陈剑翔,冒晓莉,李敏,王银..MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究[J].传感技术学报,2018,31(7):998-1004,7.

基金项目

国家自然科学基金项目(61306138,41605120) （61306138,41605120）

江苏省自然科学基金项目(BK2012460) （BK2012460）

江苏省信息与通信工程优势学科建设项目 （）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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