传感技术学报2018，Vol.31Issue(7)：1005-1011,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.07.005
表面SiO2改性高选择性MOS氢气传感器
Highly Selective MOS Hydrogen Gas Sensor Using the SiO2 Modified Layers
摘要
关键词
气体传感器/SiO2改性层/氢气/选择性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
何泽,张覃轶,薛妞子..表面SiO2改性高选择性MOS氢气传感器[J].传感技术学报,2018,31(7):1005-1011,7.基金项目
教育部留学回国人员科研启动基金项目(2015j0004) （2015j0004）
