太原理工大学学报2018，Vol.49Issue(4)：612-616,5.DOI:10.16355/j.cnki.issn1007-9432tyut.2018.04.015
压电陶瓷微位移的光干涉测量与控制系统
Optical Interference Measurement and Control System of Piezoelectric Ceramic Micro-Displacement
摘要
关键词
微位移测量/压电陶瓷致动器/迈克尔逊干涉/光路放大/开环控制分类
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齐艳强,赵晓丹,李孟阳,张明达,陈智辉,杨毅彪..压电陶瓷微位移的光干涉测量与控制系统[J].太原理工大学学报,2018,49(4):612-616,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61575138,11674239) （61575138,11674239）
山西省自然科学基金资助项目(201601D202013) （201601D202013）
