光学精密工程2018，Vol.26Issue(7)：1570-1577,8.DOI:10.3788/OPE.20182607.1570
线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置
High-precision straightness interferometer for linear moving stage
摘要
关键词
测试计量技术及仪器/直线度测量/外差激光干涉/阿贝误差分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
金涛,刘景林,杨卫,乐燕芬,侯文玫..线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置[J].光学精密工程,2018,26(7):1570-1577,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51075280,No.51705324) （No.51075280,No.51705324）
上海市自然基金资助项目(No. 16ZR1423000) （No. 16ZR1423000）
国家自然科学基金中德合作研究中心项目(No.GZ1287) （No.GZ1287）
