光学精密工程2018，Vol.26Issue(7)：1596-1603,8.DOI:10.3788/OPE.20182607.1596
用于应力测量的可调谐光栅
Tunable grating for stress measurement
摘要
关键词
光栅制作/聚二甲基硅氧烷/氧气等离子体/衍射/光谱学分类
机械制造引用本文复制引用
杨江涛,唐军,王玉波,郭浩,刘俊..用于应力测量的可调谐光栅[J].光学精密工程,2018,26(7):1596-1603,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51225504,No.61127008,No.61571405,No.61603353) （No.51225504,No.61127008,No.61571405,No.61603353）
国家973重点 基础研究发展计划资助项目(No.2012CB723404) （No.2012CB723404）
