光学精密工程2018，Vol.26Issue(7)：1612-1620,9.DOI:10.3788/OPE.20182607.1612
大口径自适应镜面微位移测量系统设计
Design of micro-displacement measurement system for large aperture adaptive mirror
摘要
关键词
自适应副镜/微位移测量/Pcap01电容数字转换芯片/STM32F103单片机分类
机械制造引用本文复制引用
左恒,刘志民..大口径自适应镜面微位移测量系统设计[J].光学精密工程,2018,26(7):1612-1620,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.11303066) （No.11303066）
