计量学报2018，Vol.39Issue(4)：545-548,4.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2018.04.20
10GΩ在片高值电阻溯源实验
Traceability Experiments on 10 GΩ On-wafer High Resistance
刘岩 1乔玉娥 1丁晨 1梁法国1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司 第十三研究所,河北石家庄050051
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摘要
关键词
计量学/高值电阻/在片测量/溯源分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘岩,乔玉娥,丁晨,梁法国..10GΩ在片高值电阻溯源实验[J].计量学报,2018,39(4):545-548,4.
