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基于机械手的硅片搬运浸泡应用研究

王静 修利强 任沁

中国新技术新产品Issue(10)：30-31,2.
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中国新技术新产品Issue(10)：30-31,2.

基于机械手的硅片搬运浸泡应用研究

王静 1修利强 2任沁1

作者信息

  • 1. 四川工程职业技术学院,四川 德阳 618000
  • 2. 欧瑞传动电气股份有限公司,山东 烟台 264000
  • 折叠

摘要

关键词

机械手/全自动控制/夹取/码放

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王静,修利强,任沁..基于机械手的硅片搬运浸泡应用研究[J].中国新技术新产品,2018,(10):30-31,2.

中国新技术新产品

1673-9957

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