河南理工大学学报（自然科学版）2018，Vol.37Issue(5)：85-89,97,6.
微坑阵列的粒子掩膜电沉积工艺及其均匀性研究
Study on process and uniformity of micro-dimple array fabricated by electrodeposition using colloidal particles mask
摘要
关键词
粒子掩膜/电沉积/微坑陈列/有限元/均匀性分类
矿业与冶金引用本文复制引用
秦歌,周奎,明平美,赵西梅,李润清..微坑阵列的粒子掩膜电沉积工艺及其均匀性研究[J].河南理工大学学报（自然科学版）,2018,37(5):85-89,97,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51105134) （51105134）
河南省基础与前沿技术研究项目(162300410025) （162300410025）
河南省高校科技创新团队支持计划项目(ISIRTSTHN013) （ISIRTSTHN013）
河南理工大学博士基金资助项目(B2012-053) （B2012-053）
