数字技术与应用2018，Vol.36Issue(6)：50-51,53,3.DOI:10.19695/j.cnki.cn12-1369.2018.06.30
RF微谐振器研究进展
Progress of Research on a New Generation Piezoelectric MEMS Microresonator Technology
杨亮 1郑升灵1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部,河北石家庄 050051
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摘要
关键词
压电/体声波/轮廓模式/MEMS微谐振器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨亮,郑升灵..RF微谐振器研究进展[J].数字技术与应用,2018,36(6):50-51,53,3.
