电子器件2018，Vol.41Issue(4)：863-866,4.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2018.04.009
Si基双环谐振腔力敏传感特性研究
Stress Sensing Effect Based on Double Ring Resonator-Structure
焦克莹1
作者信息
- 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;驻马店职业技术学院,河南 驻马店463000
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摘要
关键词
微环谐振腔/绝缘体上硅/力敏检测/光波导分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
焦克莹..Si基双环谐振腔力敏传感特性研究[J].电子器件,2018,41(4):863-866,4.
