发光学报2018，Vol.39Issue(9)：1272-1279,8.DOI:10.3788/fgxb20183909.1272
磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究
Properties of ZnO/Ag/ZnO Transparent Conducting Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
摘要
关键词
透明导电薄膜/射频磁控溅射/粉末靶/镀膜分类
数理科学引用本文复制引用
李彤,周艳文,王艳雪,赵卓,武俊生,王晓明,高鹏..磁控溅射制备本征ZnO/Ag/ZnO透明导电薄膜的性质研究[J].发光学报,2018,39(9):1272-1279,8.基金项目
国家自然科学基金(51672119) （51672119）
辽宁省教育厅校企成果转化项目(601009817-01) （601009817-01）
辽宁省教育厅海洋装备用金属材料及其应用国家重点实验室-辽宁科技大学联合基金(SKLMEA-USTL-201709)资助项目 （SKLMEA-USTL-201709）
