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基于SOI衬底和外延衬底的高速光电探测器研究

王华强 李冲 刘巧莉 丰亚洁 何晓颖 郭霞

光通信技术2018，Vol.42Issue(8)：37-40,4.
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光通信技术2018，Vol.42Issue(8)：37-40,4.DOI:10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2018.08.010

基于SOI衬底和外延衬底的高速光电探测器研究

Study of high speed photodetectors based on SOI substrate and epitaxial substrate

王华强 1李冲 1刘巧莉 1丰亚洁 1何晓颖 2郭霞2

作者信息

  • 1. 北京工业大学 信息学部,北京 100124
  • 2. 北京邮电大学电子工程学院 信息光子学与光通信国家重点实验室,北京 100876
  • 折叠

摘要

关键词

光电探测器/SOI/EPI衬底/互补金属氧化物工艺/小信号带宽/响应度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王华强,李冲,刘巧莉,丰亚洁,何晓颖,郭霞..基于SOI衬底和外延衬底的高速光电探测器研究[J].光通信技术,2018,42(8):37-40,4.

基金项目

国家重点研发项目 (2017YFB0403602, 2017YFF0104801, 2016YFB0400603) 资助. （2017YFB0403602, 2017YFF0104801, 2016YFB0400603）

光通信技术

OA北大核心

1002-5561

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