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MPCVD中双基片台结构对单晶金刚石生长的影响

夏禹豪 李艳春 耿传文 李方辉 马志斌

金刚石与磨料磨具工程2018,Vol.38Issue(3):1-5,5.
金刚石与磨料磨具工程2018,Vol.38Issue(3):1-5,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2018.3.0001

MPCVD中双基片台结构对单晶金刚石生长的影响

Influence of dual-substrate structure on growth of single crystal diamond by MPCVD

夏禹豪 1李艳春 1耿传文 1李方辉 1马志斌1

作者信息

  • 1. 武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉430073
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摘要

关键词

发射光谱/Raman位移/表面形貌/功率密度

分类

化学化工

引用本文复制引用

夏禹豪,李艳春,耿传文,李方辉,马志斌..MPCVD中双基片台结构对单晶金刚石生长的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2018,38(3):1-5,5.

基金项目

国家自然科学基金(15G006) (15G006)

金刚石与磨料磨具工程

OA北大核心CSTPCD

1006-852X

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