金刚石与磨料磨具工程2018，Vol.38Issue(3)：11-15,20,6.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2018.3.0003
硼掺杂金刚石薄膜的制备和性能研究
Preparation and properties of boron doped diamond films
摘要
关键词
硼掺杂金刚石膜/热丝化学气相沉积/低硼流量/微观结构/应力分类
化学化工引用本文复制引用
许青波,王传新,王涛,代凯,夏述平..硼掺杂金刚石薄膜的制备和性能研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2018,38(3):11-15,20,6.基金项目
国家自然科学基金(项目号:11575134) （项目号:11575134）
