南昌工程学院学报2018，Vol.37Issue(4)：53-56,90,5.
气体流量对氢化非晶氧化硅(a-SiOx:H)钝化性能影响
Influence of gas flow rate on properties of hydrogenated amorphous silicon oxide(a-SiOx: H)
摘要
关键词
气体流量/氢化非晶氧化硅(a-SiOx:H)/HWCVD/少子寿命/椭偏分类
数理科学引用本文复制引用
何玉平,袁贤,刘宁,黄海宾..气体流量对氢化非晶氧化硅(a-SiOx:H)钝化性能影响[J].南昌工程学院学报,2018,37(4):53-56,90,5.基金项目
江西省青年科学基金资助项目(20171BAB216014) （20171BAB216014）
