低温磁控溅射法制备氧化锌薄膜的光学性能研究OA北大核心CSTPCD
Optical Properties of ZnO Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering at Low Temperature
采用射频磁控溅射法,在较低的衬底温度(100℃)下,改变溅射时间,制备了一组氧化锌(ZnO)薄膜.采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线能谱仪(EDS)、傅里叶红外光谱(FTIR)、拉曼光谱和紫外-可见分光光度计对制备的ZnO薄膜的微观结构、形貌和光学特性进行了研究.XRD图谱表明,制备的ZnO薄膜具有良好的结晶性和c轴择优取向,随着溅射时间的增加,(002)衍射峰的强度先增大后降低,溅射时间为40 m…查看全部>>
张尧;李翠平;黄绪;朱振宇;刘艳中;申子龙
天津理工大学电气电子工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室,天津 300384天津理工大学电气电子工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室,天津 300384天津理工大学电气电子工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室,天津 300384天津理工大学电气电子工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室,天津 300384天津理工大学电气电子工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室,天津 300384天津理工大学电气电子工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室,天津 300384
数理科学
氧化锌薄膜磁控溅射法低温沉积光学性能
《人工晶体学报》 2018 (8)
高频ZnO/IDT/SiO2/金刚石SAW乳腺癌抗原免疫传感器研究
1517-1523,7
国家自然科学基金(61504096)天津市自然基金(16JCYBJC16300)天津市科技特派员项目(16JCTPJC50800)大学生创新创业训练计划项目(201610060041)
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