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微米量级表面结构形貌特性对二次电子发射抑制的优化

胡晶 曹猛 李永东 林舒 夏宁

物理学报2018,Vol.67Issue(17):293-304,12.
物理学报2018,Vol.67Issue(17):293-304,12.DOI:10.7498/aps.67.20180466

微米量级表面结构形貌特性对二次电子发射抑制的优化

Optimization of surface morphology with micro meter size for suppressing secondary electron emission

胡晶 1曹猛 1李永东 1林舒 1夏宁1

作者信息

  • 1. 西安交通大学电子与信息工程学院, 电子物理与器件教育部重点实验室, 西安 710049
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摘要

关键词

二次电子发射/凹陷结构/凸起结构/微放电敏感区域

引用本文复制引用

胡晶,曹猛,李永东,林舒,夏宁..微米量级表面结构形貌特性对二次电子发射抑制的优化[J].物理学报,2018,67(17):293-304,12.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:U1537210,11375139)资助的课题. (批准号:U1537210,11375139)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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