物理学报2018,Vol.67Issue(17):293-304,12.DOI:10.7498/aps.67.20180466
微米量级表面结构形貌特性对二次电子发射抑制的优化
Optimization of surface morphology with micro meter size for suppressing secondary electron emission
摘要
关键词
二次电子发射/凹陷结构/凸起结构/微放电敏感区域引用本文复制引用
胡晶,曹猛,李永东,林舒,夏宁..微米量级表面结构形貌特性对二次电子发射抑制的优化[J].物理学报,2018,67(17):293-304,12.基金项目
国家自然科学基金(批准号:U1537210,11375139)资助的课题. (批准号:U1537210,11375139)