燕山大学学报2018，Vol.42Issue(3)：234-239,6.DOI:10.3969/j.issn.1007-791X.2018.03.007
AACVD方法制备FTO薄膜及其结构与光电性能研究
Study on structure, optical and electrical properties of FTO thin films prepared by aerosol-assisted chemical vapor deposition
摘要
关键词
气溶胶辅助/化学气相沉积/FTO薄膜/低辐射性能分类
化学化工引用本文复制引用
林威豪,马晔城,陈胜男,汪建勋,韩高荣..AACVD方法制备FTO薄膜及其结构与光电性能研究[J].燕山大学学报,2018,42(3):234-239,6.基金项目
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0303900) （2016YFB0303900）
