强激光与粒子束2018，Vol.30Issue(6)：16-20,5.DOI:10.11884/HPLPB201830.170492
磁控溅射法制备极紫外6.8~11.0nm波段Mo/B4C横向梯度多层膜
Laterally graded periodic Mo/B4C multilayer for extreme ultraviolet wavelength of 6 .8-1 1 .0 nm
朱京涛 1李淼 1朱圣明 1张嘉怡 1冀斌 1崔明启2
作者信息
- 1. 同济大学 物理科学与工程学院,先进微结构材料教育部重点实验室,上海 200092
- 2. 中国科学院 高能物理研究所,北京 100049
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摘要
关键词
极紫外/横向梯度多层膜/Mo/B4C/磁控溅射/同步辐射分类
数理科学引用本文复制引用
朱京涛,李淼,朱圣明,张嘉怡,冀斌,崔明启..磁控溅射法制备极紫外6.8~11.0nm波段Mo/B4C横向梯度多层膜[J].强激光与粒子束,2018,30(6):16-20,5.
