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太阳能
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不同镀膜流程对多晶硅背钝化效率和EL的影响
不同镀膜流程对多晶硅背钝化效率和EL的影响
江坚
陈刚
张斌
张剑峰
王仕鹏
黄海燕
陆川
太阳能
Issue(3)：48-49,53,3.
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太阳能
Issue(3)
：48-49,53,3.
不同镀膜流程对多晶硅背钝化效率和EL的影响
江坚
1
陈刚
1
张斌
1
张剑峰
1
王仕鹏
1
黄海燕
1
陆川
1
作者信息
1.
浙江正泰太阳能科技有限公司
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摘要
关键词
PECVD
/
背正背流程
/
舟印
/
电池片效率
/
背钝化
/
EL
/
ALD
引用本文
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江坚,陈刚,张斌,张剑峰,王仕鹏,黄海燕,陆川..不同镀膜流程对多晶硅背钝化效率和EL的影响[J].太阳能,2018,(3):48-49,53,3.
太阳能
ISSN：
1003-0417
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