现代科学仪器Issue(1)：65-67,119,4.
X射线荧光光谱仪真空控制系统设计与实现
The Design and Realization for Vacuum Control System of X-ray Fluorescence Spectrometer
摘要
关键词
X射线荧光光谱仪/真空控制系统/自动压力控制分类
机械制造引用本文复制引用
杨佳铭,麻硕,邱忠义..X射线荧光光谱仪真空控制系统设计与实现[J].现代科学仪器,2018,(1):65-67,119,4.基金项目
国家重大科学仪器设备开发专项项目:2012YQ050076 （）
