传感技术学报2018，Vol.31Issue(9)：1301-1306,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.09.001
基于兰姆波谐振MEMS阵列的无喷嘴微液滴喷射研究
Nozzleless Micro-Droplet Ejection Using Lamb Wave Resonant MEMS Ejector Array
摘要
关键词
MEMS执行器/液滴喷射/声波聚焦/压电谐振器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张鸿翔,宁远,刘伯华,张孟伦..基于兰姆波谐振MEMS阵列的无喷嘴微液滴喷射研究[J].传感技术学报,2018,31(9):1301-1306,6.基金项目
国家自然科学基金项目( 61176106) （ 61176106）
