传感技术学报2018，Vol.31Issue(9)：1311-1315,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.09.003
MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析
Analysis of Dynamic Pull-in Phenomena for Perforated-Plate Electrostatic Micro-Actuator
摘要
关键词
静电微执行器/动态/Pull-in参数/ANSYS/压膜阻尼效应分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
季莅莅,方玉明,孜乃提古丽•布尔汉,戚举,艾昕晨..MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析[J].传感技术学报,2018,31(9):1311-1315,5.基金项目
江苏省研究生科研与实践创新计划项目( SJCX170231、KYCX180879) （ SJCX170231、KYCX180879）
南京邮电大学大学生创新训练计划项目( XZD2018041) （ XZD2018041）
