电子器件2018，Vol.41Issue(5)：1087-1092,1096,7.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2018.05.001
基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDliteTM工艺的微型CMOS五电极垂直型霍尔器件的研究
Research on Micro-CMOS Five-Contact Vertical Hall Device Based on GLOBALFOUNDRIES 0.18 μm BCDliteTM Technology
摘要
关键词
霍尔传感器/5CVHD/COMSOL/电流灵敏度/器件结构/工艺参数分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
汤伟,吕飞,张胜,潘红兵,王敦辉..基于GLOBALFOUNDRIES 0.18μm BCDliteTM工艺的微型CMOS五电极垂直型霍尔器件的研究[J].电子器件,2018,41(5):1087-1092,1096,7.基金项目
国家自然基金面上项目(61376075) （61376075）
