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双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性

魏良栋 戴瑞萍 陆颢瓒 王德波

光学精密工程2018,Vol.26Issue(9):2133-2138,6.
光学精密工程2018,Vol.26Issue(9):2133-2138,6.DOI:10.3788/OPE.20182609.2133

双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性

Impedance matching of MEMS double-channel microwave power sensor

魏良栋 1戴瑞萍 1陆颢瓒 1王德波1

作者信息

  • 1. 南京邮电大学电子与光学工程学院,江苏南京210023
  • 折叠

摘要

关键词

微机电系统/功率传感器/双通道/悬臂梁/匹配特性/回波损耗

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

魏良栋,戴瑞萍,陆颢瓒,王德波..双通道MEMS微波功率传感器的匹配特性[J].光学精密工程,2018,26(9):2133-2138,6.

基金项目

国家青年自然科学基金资助项目(No.61704086) (No.61704086)

江苏省青年自然科学基金资助项目(No.BK20140890) (No.BK20140890)

南京邮电大学国自基金孵化资助项目(No.NY215139,No.NY217039) (No.NY215139,No.NY217039)

中国博士后科学基金资助项目(No.2017M621692) (No.2017M621692)

江苏省博士后基金资助项目(No.1701131B). (No.1701131B)

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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