光学精密工程2018，Vol.26Issue(9)：2289-2293,5.DOI:10.3788/OPE.20182609.2289
基于蒙特卡罗法的MEMS测力计不确定性分析
Uncertainty analysis of MEMS force gauges based on Monte Carlo method
摘要
关键词
MEMS测力计/椭圆积分解/不确定性/蒙特卡罗法分类
机械制造引用本文复制引用
韩琪,陈贵敏,邵晓东..基于蒙特卡罗法的MEMS测力计不确定性分析[J].光学精密工程,2018,26(9):2289-2293,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51675396) （No.51675396）
