金刚石与磨料磨具工程2018，Vol.38Issue(4)：1-5,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2018.4.0001
约束式热丝CVD法制备金刚石的研究
Study on diamond film growth by hot filament CVD in confined space
代凯 1王传新 1许青波 1王涛1
作者信息
- 1. 武汉工程大学材料科学与工程学院,等离子体化学新材料湖北省重点实验室,武汉430073
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摘要
关键词
热丝化学气相沉积/金刚石薄膜/约束空间/生长速率分类
化学化工引用本文复制引用
代凯,王传新,许青波,王涛..约束式热丝CVD法制备金刚石的研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2018,38(4):1-5,5.
