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金刚石基微机电系统制备方法的研究进展

鲁云祥满卫东罗红泰陈梦唤陈培钦

金刚石与磨料磨具工程2018，Vol.38Issue(4)：20-26,7.

金刚石与磨料磨具工程2018，Vol.38Issue(4)：20-26,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2018.4.0004

Research progress of preparation methods of diamond-based MEMS

鲁云祥 ¹满卫东 ¹罗红泰 ¹陈梦唤 ¹陈培钦¹

作者信息

金刚石/微机电系统/激光加工/等离子体刻蚀

化学化工

鲁云祥,满卫东,罗红泰,陈梦唤,陈培钦..金刚石基微机电系统制备方法的研究进展[J].金刚石与磨料磨具工程,2018,38(4):20-26,7.

国家自然科学基金(No.11175137). （No.11175137）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1006-852X

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