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基片温度对真空蒸镀Ti/LiNbO3光学薄膜的影响

汤卉 董鹏展 吕杨

徐州工程学院学报(自然科学版)2018,Vol.33Issue(3):18-21,4.
徐州工程学院学报(自然科学版)2018,Vol.33Issue(3):18-21,4.

基片温度对真空蒸镀Ti/LiNbO3光学薄膜的影响

Effect of Substrate Temperature on Vacuum Deposition of Ti/LiNbO3 Composite Optical Films

汤卉 1董鹏展 1吕杨1

作者信息

  • 1. 哈尔滨理工大学材料科学与工程学院,黑龙江哈尔滨150040
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摘要

关键词

真空蒸镀/Ti光学薄膜/基片温度

分类

数理科学

引用本文复制引用

汤卉,董鹏展,吕杨..基片温度对真空蒸镀Ti/LiNbO3光学薄膜的影响[J].徐州工程学院学报(自然科学版),2018,33(3):18-21,4.

基金项目

黑龙江省科学基金项目(E201130) (E201130)

徐州工程学院学报(自然科学版)

1674-358X

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