真空电子技术Issue(4)：13-17,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.04.03
高导热氮化硅陶瓷基板材料研究现状
Research on High Thermal Conductivity Silicon Nitride Ceramic Substrate Materials
摘要
关键词
半导体/陶瓷绝缘基板/氮化硅陶瓷/热导率分类
化学化工引用本文复制引用
郑彧,童亚琦,张伟儒..高导热氮化硅陶瓷基板材料研究现状[J].真空电子技术,2018,(4):13-17,5.基金项目
国家重点研发计划(2017YFB0310400),北京市科技计划课题(Z171100002017015) （2017YFB0310400）
