真空电子技术Issue(4):18-21,25,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.04.04
高导热氮化硅陶瓷的低成本制备和性能研究
Low Cost Preparation and Properties of High Thermal Conductivity Silicon Nitride Ceramics
摘要
关键词
氮化硅基片/流延成型/硅粉氮化/无压烧结分类
化学化工引用本文复制引用
张景贤,段于森,江东亮,杨建,冯永宝,李晓云,丘泰..高导热氮化硅陶瓷的低成本制备和性能研究[J].真空电子技术,2018,(4):18-21,25,5.基金项目
科技部重点研发计划(2016YFB0700300) (2016YFB0700300)