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高导热氮化硅陶瓷的低成本制备和性能研究

张景贤 段于森 江东亮 杨建 冯永宝 李晓云 丘泰

真空电子技术Issue(4):18-21,25,5.
真空电子技术Issue(4):18-21,25,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.04.04

高导热氮化硅陶瓷的低成本制备和性能研究

Low Cost Preparation and Properties of High Thermal Conductivity Silicon Nitride Ceramics

张景贤 1段于森 2江东亮 1杨建 2冯永宝 1李晓云 3丘泰3

作者信息

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海200050
  • 2. 中国科学院上海硅酸盐研究所苏州研究院,江苏太仓215400
  • 3. 南京工业大学材料科学与工程学院,江苏南京210009
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摘要

关键词

氮化硅基片/流延成型/硅粉氮化/无压烧结

分类

化学化工

引用本文复制引用

张景贤,段于森,江东亮,杨建,冯永宝,李晓云,丘泰..高导热氮化硅陶瓷的低成本制备和性能研究[J].真空电子技术,2018,(4):18-21,25,5.

基金项目

科技部重点研发计划(2016YFB0700300) (2016YFB0700300)

真空电子技术

1002-8935

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