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退火参数对p-Si与Ti/Pt/Au欧姆接触的影响

林立娜 梁庭 赵丹 杨娇燕 李奇思 雷程

传感技术学报2018，Vol.31Issue(10)：1499-1504,6.
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传感技术学报2018，Vol.31Issue(10)：1499-1504,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2018.010.008

退火参数对p-Si与Ti/Pt/Au欧姆接触的影响

Influence of Annealing Parameters on Ohmic Contact of p-Si and Ti/Pt/Au

林立娜 1梁庭 2赵丹 3杨娇燕 3李奇思 3雷程3

作者信息

  • 1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051
  • 2. 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051
  • 折叠

摘要

关键词

退火/欧姆接触/伏安特性曲线/表面形貌/电极/比接触电阻率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

林立娜,梁庭,赵丹,杨娇燕,李奇思,雷程..退火参数对p-Si与Ti/Pt/Au欧姆接触的影响[J].传感技术学报,2018,31(10):1499-1504,6.

基金项目

国家杰出青年科学基金项目(51425505) （51425505）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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