材料科学与工程学报2018，Vol.36Issue(5)：691-694,4.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2018.05.001
碳杂质对直拉硅单晶中氮氧复合体浅热施主形成的影响
Effect of Carbon Impurity on Nitrogen-oxygen Complexes Formation as Shallow Thermal Donors in Czochralski Silicon
摘要
关键词
掺氮直拉硅单晶/氮氧复合体/浅热施主/碳杂质分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
周军委,原帅,袁康,余学功,马向阳,杨德仁..碳杂质对直拉硅单晶中氮氧复合体浅热施主形成的影响[J].材料科学与工程学报,2018,36(5):691-694,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51532007,61674126)和挑战计划资助项目(JCKY2016212A503) （51532007,61674126）
