电源技术2018，Vol.42Issue(10)：1563-1566,4.
不同厚度和退火温度下AZO/ZnO结构的薄膜稳定性
Electrical stability of AZO/ZnO films of different thickness during annealing at different temperatures
摘要
关键词
射频磁控溅射/AZO/ZnO/电阻率/退火分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杜忠明,刘向鑫..不同厚度和退火温度下AZO/ZnO结构的薄膜稳定性[J].电源技术,2018,42(10):1563-1566,4.基金项目
“863”项目(2015AA050609) （2015AA050609）
国家自然科学基金(61274060) （61274060）
中国科学院交叉创新团队资助项目 （）
