光学精密工程2018，Vol.26Issue(6)：1314-1321,8.DOI:10.3788/OPE.20182606.1314
弹光调制测椭偏参量的数字锁相数据处理
Digital phase-locked data processing for ellipsometric parameter measurements based on photoelastic modulation
摘要
关键词
椭偏参量/椭偏仪/弹光调制器/数字锁相数据处理分类
数理科学引用本文复制引用
王爽,韩燮,李晓,王志斌,景宁,陈友华,陈媛媛..弹光调制测椭偏参量的数字锁相数据处理[J].光学精密工程,2018,26(6):1314-1321,8.基金项目
国家国际科技合作专项项目(No.2013DFR10150) （No.2013DFR10150）
国家自然科学基金资助项目(Nos.61672473,61505179,61605176) （Nos.61672473,61505179,61605176）
山西省应用基础研究项目(No.201701D221126) （No.201701D221126）
