光学精密工程2018，Vol.26Issue(6)：1407-1414,8.DOI:10.3788/OPE.20182606.1407
旋转电极电解电火花切割玻璃微结构试验研究
Electrochemical discharge cutting of glass microstructures with rotating electrodes
摘要
关键词
电化学放电切割加工/石英玻璃/旋转螺旋工具/高深宽比微结构/封闭结构分类
机械制造引用本文复制引用
刘勇,魏志远,李松松..旋转电极电解电火花切割玻璃微结构试验研究[J].光学精密工程,2018,26(6):1407-1414,8.基金项目
山东省自然科学基金资助项目(No.2R2018MEE018) （No.2R2018MEE018）
国家自然科学基金资助项目(No.51305238) （No.51305238）
中国博士后基金资助项目(No.2018M630772) （No.2018M630772）
山东大学(威海)青年学者未来计划资助项目(No.2015WHWLJH03) （威海）
