计算机工程2018，Vol.44Issue(8)：218-223,6.DOI:10.19678/j.issn.1000-3428.0047107
基于卷积神经网络的晶圆缺陷检测与分类算法
Wafer Defect Detection and Classification Algorithms Based on Convolutional Neural Network
摘要
关键词
晶圆检验/缺陷检测/缺陷分类/卷积神经网络/patch-based CNN分类器/Faster RCNN分类器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邡鑫,史峥..基于卷积神经网络的晶圆缺陷检测与分类算法[J].计算机工程,2018,44(8):218-223,6.基金项目
国家自然科学基金(61474098,61674129). （61474098,61674129）
