太赫兹科学与电子信息学报2018，Vol.16Issue(5)：776-780,5.DOI:10.11805/TKYDA201805.0776
UV LIGA技术在毫米波太赫兹器件中的应用进展
Progress in application and research of UV LIGA techniques
in millimeter wave and terahertz devices
李含雁 1冯进军1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十二研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京 100015
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摘要
关键词
紫外光刻电铸和微成型/高频结构/毫米波太赫兹器件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李含雁,冯进军..UV LIGA技术在毫米波太赫兹器件中的应用进展[J].太赫兹科学与电子信息学报,2018,16(5):776-780,5.
