计算机应用研究2018，Vol.35Issue(11)：3307-3310,3314,5.DOI:10.3969/j.issn.1001-3695.2018.11.025
基于SP-LNS-KNN的半导体生产过程故障检测方法研究
SP-LNS-KNN-based fault detection method for multimode batch process
摘要
关键词
标准化/K近邻/多模态/故障检测/统计模量分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
冯立伟,张成,谢彦红,李元,逄玉俊..基于SP-LNS-KNN的半导体生产过程故障检测方法研究[J].计算机应用研究,2018,35(11):3307-3310,3314,5.基金项目
国家自然科学基金重点资助项目(61490701,61673279) （61490701,61673279）
辽宁省教育厅基金资助一般项目(L2015432) （L2015432）
辽宁省自然科学基金资助项目(2015020164) （2015020164）
