应用化学2018，Vol.35Issue(11)：1364-1371,8.DOI:10.11944/j.issn.1000-0518.2018.11.170414
晶体硅金刚线切割废料制备高纯氮化硅
Preparation of High-Purity Silicon Nitride from Diamond-Wire Cutting Waste
摘要
关键词
金刚线切割废料/酸洗除杂/氮化硅/回收利用分类
化学化工引用本文复制引用
金星,孔剑,王敬强,邢鹏飞,高波..晶体硅金刚线切割废料制备高纯氮化硅[J].应用化学,2018,35(11):1364-1371,8.基金项目
国家重点基础研究发展计划(973计划) (51334004)项目资助 （973计划）
